国家知识产权局信息显示，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司申请一项名为“PMOS晶体管及其制作方法”的专利，公开号CN121531734A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明涉及一种PMOS晶体管及其制作方法。所述制作方法中，在衬底上形成贯穿第一介质层的第一沟槽后，在第一沟槽侧壁形成第一侧墙以及栅介质层，之后在第一沟槽内填充多晶硅材料层，并刻蚀多晶硅材料层以在第一沟槽顶部形成第二沟槽，剩余的多晶硅材料层形成多晶硅栅极，之后在第二沟槽内形成硬掩膜层以覆盖多晶硅栅极的上表面，之后去除第一介质层并在多晶硅栅极两侧进行凹槽外延工艺以形成源漏外延层，在进行外延工艺时，多晶硅栅极被第一侧墙和硬掩膜层保护，避免所述多晶硅栅极产生外延生长。所述多晶硅栅极自上而下宽度逐渐减小，有利于降低金属硅化物的电阻，从而降低栅极接触电阻，有助于提升PMOS晶体管的性能。
天眼查资料显示，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司，成立于2020年，位于青岛市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司共对外投资了5家企业，专利信息108条，此外企业还拥有行政许可4个。
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